基于MEMS的曲面仿生復(fù)眼設(shè)計與制作.pdf

1、本文以昆蟲復(fù)眼為原型,以制作出具有體積小、質(zhì)量輕、具有大視場角并且對運動速度敏感等特點的曲面仿生復(fù)眼為目的,對外形以及成像特性均與昆蟲相近的曲面仿生復(fù)眼進行了研究。
　　本文的研究主要分為結(jié)構(gòu)設(shè)計與MEMS工藝制作兩個部分。結(jié)構(gòu)設(shè)計借助于光學(xué)設(shè)計軟件Zemax,工藝制作涉及到曲面微透鏡陣列的制作以及晶錐波導(dǎo)陣列的制作。其中晶錐波導(dǎo)陣列的制作以自聚焦效應(yīng)為基礎(chǔ),借助Matlab平臺進行輔助計算。本文所涉及的主要工作以及取得的主要成果

2、有:
　　(1)對曲面仿生復(fù)眼的結(jié)構(gòu)、成像特性、應(yīng)用以及研究現(xiàn)狀進行了簡單的闡述,指出了其潛在研究價值,并確定了以SU-8光刻膠為材料,基于自聚焦原理的MEMS制作方案;
　　(2)對SU-8光刻膠的光學(xué)特性進行了研究,發(fā)現(xiàn)其折射率隨曝光劑量的變化符合自聚焦效應(yīng)所需的非線性材料要求,為晶錐波導(dǎo)制作方案的確定打下了基礎(chǔ);
　　(3)通過Zemax軟件對單個小眼的光學(xué)特性,以及曲面微透鏡陣列與平面探測器的耦合特性進行了研究