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文檔簡介
1、表面粗糙度是指加工表面由較小間距和峰谷所組成的微觀幾何形狀,它是評定零件質(zhì)量的一個重要參數(shù)?？茖W(xué)技術(shù)日新月異,對表面粗糙度的在線測量也提出了更高的要求。傳統(tǒng)的觸針式測量方法已經(jīng)不適于表面粗糙度的在線測量。
基于Beckmann散射模型,以半導(dǎo)體激光器為光源構(gòu)成遠(yuǎn)心光路,通過CCD記錄粗糙物體表面的散射光場。計算機分析處理得到表面粗糙度特征值Sn,在較大的范圍內(nèi)表面粗糙度Ra和Sn有很好的對應(yīng)關(guān)系。該測量方法結(jié)構(gòu)簡單,精度高
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