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1、集成電路(IC)產(chǎn)業(yè)作為信息化的基礎(chǔ),對經(jīng)濟(jì)發(fā)展,社會進(jìn)步和國家安全都有著巨大的影響。而 IC制造裝備是 IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支柱,在整個(gè) IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展中扮演著技術(shù)先導(dǎo)的角色。集束型晶圓制造設(shè)備已發(fā)展成 IC制造業(yè)中半導(dǎo)體前端設(shè)備的主流。潔凈晶圓傳輸機(jī)器人正是集束型設(shè)備中晶圓在各制造裝備之間傳遞的核心部件,其性能直接影響整個(gè)集束型設(shè)備的可靠程度和自動化水平。
本論文以上述的潔凈晶圓傳輸機(jī)器人為研究對象,對其進(jìn)行了運(yùn)動學(xué)與動力學(xué)分析
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