用ERDA方法對材料同時進行多元素分析.pdf

1、在中國原子能科學研究院HI-13串列加速器上建立了一套完備而簡捷的彈性反沖探測分析(ERDA)系統(tǒng).該系統(tǒng)利用HI-13串列加速器提供的高品質的重離子束轟擊薄膜或塊材靶樣品,用△E-E望遠鏡探測器,在前角區(qū)測量了靶材料中各種元素的反沖能譜.利用包含盧瑟福散射截面和離子在靶材料中的阻止本領的分析程序SIMNRA,將能譜轉換為元素的深度分布,從而實現(xiàn)高精度的深度分布測量.利用該系統(tǒng),對薄膜和塊材料同時進行多元素成分深度分布分析.在從輕元素H

2、到中重元素K的很大范圍內,用縱向型雙電離室望遠鏡探測器同時得到各種元素30納米左右的深度分辨譜.應用以上技術測量了SiC:H薄膜、有機膜、SiN:H薄膜、SiO<,2>靶、LaBaCuO超導膜、GaN靶CHN/Si靶等多種樣品的成分及雜質的深度分布.進行數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)分析處理時,考慮到H元素因在氣體電離室中的能損很小,淹沒在噪聲中,無法得到△E和E<,r>的符合譜.在離線數(shù)據(jù)分析處理時,H元素的能譜則直接由E<,r>的不符合譜得到.這種