用ERDA方法對(duì)材料同時(shí)進(jìn)行多元素分析.pdf

1、在中國(guó)原子能科學(xué)研究院HI-13串列加速器上建立了一套完備而簡(jiǎn)捷的彈性反沖探測(cè)分析(ERDA)系統(tǒng).該系統(tǒng)利用HI-13串列加速器提供的高品質(zhì)的重離子束轟擊薄膜或塊材靶樣品,用△E-E望遠(yuǎn)鏡探測(cè)器,在前角區(qū)測(cè)量了靶材料中各種元素的反沖能譜.利用包含盧瑟福散射截面和離子在靶材料中的阻止本領(lǐng)的分析程序SIMNRA,將能譜轉(zhuǎn)換為元素的深度分布,從而實(shí)現(xiàn)高精度的深度分布測(cè)量.利用該系統(tǒng),對(duì)薄膜和塊材料同時(shí)進(jìn)行多元素成分深度分布分析.在從輕元素H

2、到中重元素K的很大范圍內(nèi),用縱向型雙電離室望遠(yuǎn)鏡探測(cè)器同時(shí)得到各種元素30納米左右的深度分辨譜.應(yīng)用以上技術(shù)測(cè)量了SiC:H薄膜、有機(jī)膜、SiN:H薄膜、SiO<,2>靶、LaBaCuO超導(dǎo)膜、GaN靶CHN/Si靶等多種樣品的成分及雜質(zhì)的深度分布.進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取和數(shù)據(jù)分析處理時(shí),考慮到H元素因在氣體電離室中的能損很小,淹沒(méi)在噪聲中,無(wú)法得到△E和E<,r>的符合譜.在離線(xiàn)數(shù)據(jù)分析處理時(shí),H元素的能譜則直接由E<,r>的不符合譜得到.這種