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文檔簡(jiǎn)介
1、阻變存儲(chǔ)器(RRAM)以其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低功耗、高存儲(chǔ)密度以及與傳統(tǒng)CMOS工藝相兼容等眾多優(yōu)點(diǎn)已成為下一代非揮發(fā)性存儲(chǔ)器的研究熱點(diǎn)。碳納米管自被發(fā)現(xiàn)以來(lái)便引起了人們的廣泛關(guān)注。本論文從碳納米材料的壓阻效應(yīng)著手,以期研制一種全新的非揮發(fā)性應(yīng)變存儲(chǔ)器件。
本文通過(guò)對(duì)化學(xué)氣相沉積方法進(jìn)行優(yōu)化及改善,采用特定催化劑及碳源制備出 P型竹節(jié)狀碳納米管和分級(jí)結(jié)構(gòu)碳納米纖維。通過(guò)對(duì)其形貌及結(jié)構(gòu)分析得出竹節(jié)狀碳納米管的基底生長(zhǎng)機(jī)制以及分級(jí)結(jié)構(gòu)碳納
2、米纖維的樹(shù)枝型生長(zhǎng)機(jī)制。
制備單根一維納米結(jié)構(gòu)器件,分別在靜態(tài)、動(dòng)態(tài)壓應(yīng)變及張應(yīng)變作用下進(jìn)行壓阻性能測(cè)試。結(jié)果表明,兩種材料均表現(xiàn)出在壓應(yīng)變作用時(shí)電阻變小而在張應(yīng)變作用時(shí)電阻變大的現(xiàn)象,且在張應(yīng)變作用下的壓阻效應(yīng)更為明顯。竹節(jié)狀碳納米管在動(dòng)態(tài)應(yīng)變下的形變因子為42.3(壓應(yīng)變)、103.2(張應(yīng)變);分級(jí)結(jié)構(gòu)碳納米纖維在動(dòng)態(tài)應(yīng)變下的形變因子為58.2(壓應(yīng)變)、3113.6(張應(yīng)變)。
選取適當(dāng)形變量,以0.005
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