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1、集成電路及微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)的高速發(fā)展,極大地促進(jìn)了硅微慣性傳感器的應(yīng)用。本文對(duì)MEMS壓阻式加速度計(jì)進(jìn)行了研究,詳細(xì)介紹了壓阻式加速度傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)特性,具體討論了器件的尺寸、工藝、封裝和測(cè)試。
傳感器設(shè)計(jì)采用超穩(wěn)的四梁對(duì)稱結(jié)構(gòu),有效的減少了由于結(jié)構(gòu)不對(duì)稱和壓阻的位置偏差帶來的誤差。此外,該傳感器采用了“三明治”結(jié)構(gòu),在結(jié)構(gòu)的上下蓋帽中設(shè)計(jì)了限位擋塊,解決了傳感器抗高過載的難題并利用有限元分析軟件對(duì)所設(shè)計(jì)
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