2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩55頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、該論文主要論述了一種新型的微梁直拉直壓的硅微機(jī)械壓阻式加速度傳感器的設(shè)計(jì)、制作和測(cè)試.該傳感器同時(shí)具有較高靈敏度和諧振頻率.論文的第一章對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)及其器件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)和應(yīng)用等發(fā)展?fàn)顩r進(jìn)行了綜述,重點(diǎn)綜述了微機(jī)械加速度傳感器的研究進(jìn)展.第二章詳細(xì)論述了一種新型的微梁直拉直壓硅微機(jī)械壓阻式加速度傳感器的工作原理.傳感器芯片由中間支撐梁、質(zhì)量塊、兩只質(zhì)量腿和兩只微梁組成.由于質(zhì)量塊和質(zhì)量腿結(jié)構(gòu)的特殊設(shè)計(jì),工作時(shí)微梁直拉或者直壓.力學(xué)分

2、析表明由于三梁結(jié)構(gòu)和微梁的直拉直壓工作方式,該設(shè)計(jì)能同時(shí)提高傳感器的靈敏度和諧振頻率.有限元模擬驗(yàn)證了力學(xué)分析.第三章論述結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì),給出了傳感器的結(jié)構(gòu)尺寸優(yōu)化和基于優(yōu)化結(jié)果的不同量程傳感器的設(shè)計(jì)規(guī)則.采用這個(gè)規(guī)則,可以設(shè)計(jì)量程為1-25000g的加速度傳感器,并根據(jù)該設(shè)計(jì)規(guī)則形成了簡(jiǎn)便實(shí)用的設(shè)計(jì)程序.第四章介紹器件工藝制作.由于采用SOI硅片和深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù),傳感器的制作工藝比較簡(jiǎn)單可行.此外還給出了傳感器的簡(jiǎn)單封裝工藝.該論

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論