復(fù)合量程壓阻式加速度傳感器陣列的研究.pdf

1、基于近年來國防事業(yè)、工業(yè)、環(huán)保、自控的需要，本文對具有自檢測的復(fù)合量程壓阻式加速度傳感器陣列進行了研究。該項研究的特色體現(xiàn)在兩個方面。一方面，采用復(fù)合量程設(shè)計的硅微傳感器陣列作為探測器件，增加了信息的冗余度，從而實現(xiàn)了信息多維化和多參數(shù)檢測。同時，也提高了測試和控制系統(tǒng)的可靠性、靈活性和通用性。另一方面，傳感器具有自檢測功能，對其工作前的狀態(tài)正常與否進行檢測，也可以大大提高系統(tǒng)的可靠性。因此，該項研究對許多領(lǐng)域的多參數(shù)測試與多功能控制技

2、術(shù)的發(fā)展起著重要的推動作用。 本文首先對微加速度傳感器及傳感器陣列的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀進行了研究?？紤]到各種硅微傳感器的綜合性能和工藝成熟性等因素的影響，論文選擇壓阻式微加速度傳感器作為研究對象。該傳感器陣列具有自檢測功能，并采用四個量程2×2陣列的結(jié)構(gòu)形式。根據(jù)設(shè)計約束，通過理論計算和仿真分析對傳感器陣列的幾何參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)計。通過仿真分析確定壓敏電阻的位置，連接成開路的惠斯頓電橋。通過分析梁和質(zhì)量塊的阻尼力，給出傳感器系統(tǒng)的阻尼