電沉積法制備納米材料脈沖電源研制.pdf

1、納米材料是21世紀(jì)最有前途的材料。電沉積方法用于制備高純度金屬氧化物納米材料是電化學(xué)方法的一種新的應(yīng)用,而電沉積的效率與電源特性直接相關(guān)。為了提高電沉積方法制備金屬氧化物納米材料的效率和效果,本文設(shè)計(jì)了一種調(diào)制換向脈沖電源。
　　針對(duì)脈沖電沉積特點(diǎn)及電源各項(xiàng)參數(shù)對(duì)電沉積工藝的影響,提出了電沉積直流脈沖電源的指標(biāo):采用低頻調(diào)制高頻的雙向脈沖形式,電源頻率60~500Hz可調(diào),換向頻率:6~30Hz,死區(qū)時(shí)間10μs,峰值電流最小30

2、0A,占空比在10％~95%范圍可調(diào)。在設(shè)計(jì)中,使用窄脈沖是為沉積顆粒細(xì)膩,脈沖調(diào)制換向是為了消除氣泡的影響以提高電流密度。為了實(shí)現(xiàn)電源指標(biāo)并具有高的性價(jià)比,本電源主電路的結(jié)構(gòu)選擇廉價(jià)的功率器件MOSFET,應(yīng)用并聯(lián)均流技術(shù)擴(kuò)展了電源電流和功率,從結(jié)構(gòu)和熱設(shè)計(jì)上入手,提出了整體的電源解決方案。本文詳細(xì)論述了緩沖電路、調(diào)制電路以及驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)。
　　本文還從工程經(jīng)驗(yàn)上詳細(xì)描述了電源調(diào)試的過程中出現(xiàn)的問題以及如何解決這些問題的過程和