柔性薄膜卷繞輸送系統(tǒng)糾偏機(jī)理分析與應(yīng)用.pdf

1、通常柔性電子工藝采用卷繞輸送系統(tǒng)來完成柔性薄膜的傳輸，糾偏機(jī)理分析與應(yīng)用是柔性薄膜輸送系統(tǒng)的重要研究內(nèi)容。本文以DR1075型框架偏擺式糾偏裝置為研究對(duì)象，圍繞糾偏裝置的應(yīng)用、機(jī)理分析及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證等方面開展工作。
　　首先，建立了薄膜應(yīng)力與芯片剪應(yīng)力之間的關(guān)系式，基于有限元法得到了張力與薄膜應(yīng)力之間的關(guān)系,為卷繞輸送系統(tǒng)中薄膜張力設(shè)置提供了理論依據(jù)。針對(duì)電子器件定位精度的需求，給出了一種糾偏控制系統(tǒng)的優(yōu)化方案。
　　其次，基于

2、薄膜橫向偏移一階動(dòng)力學(xué)模型分析了糾偏框架結(jié)構(gòu)參數(shù)的頻率特性，得到最優(yōu)糾偏模型為中間跨距與旋轉(zhuǎn)跨距相等，檢測(cè)跨距盡量小。對(duì)速度和入口跨距進(jìn)行了時(shí)間響應(yīng)分析，結(jié)果表明速度越小糾偏效果越好，入口跨距的選擇應(yīng)該適中。
　　然后，分別建立了彎矩和剪切力與薄膜橫向撓度之間的關(guān)系式，將薄膜設(shè)定為鐵木辛柯梁，基于二階動(dòng)力學(xué)模型分析了薄膜參數(shù)對(duì)系統(tǒng)頻率特性的影響，得到對(duì)系統(tǒng)頻率特性影響最大的是薄膜寬度。
　　最后，通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了薄膜進(jìn)給速度、