柔性膜卷到卷輸送定位偏差機(jī)理分析及實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、近年來柔性電子因其突出的可延展性、適應(yīng)性和便攜性等優(yōu)勢(shì)在信息、能源、醫(yī)療等領(lǐng)域得到了廣泛關(guān)注和高速發(fā)展。卷到卷輸送工藝作為柔性電子高效、低成本制備關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為適應(yīng)柔性電子領(lǐng)域中新型器件精密且復(fù)雜的工藝要求，需要保證對(duì)輸送柔性膜的高精度定位。本文針對(duì)卷到卷輸送工藝中的柔性膜在橫向和縱向的定位偏差問題開展偏差產(chǎn)生機(jī)理分析、偏差動(dòng)力學(xué)建模和實(shí)驗(yàn)研究、偏差檢測(cè)方案設(shè)計(jì)等工作，主要研究?jī)?nèi)容如下：
　　首先，建立了柔性膜在卷到卷輸送下橫向運(yùn)動(dòng)

2、偏差動(dòng)力學(xué)模型。以相鄰兩輥軸間的單段柔性膜為研究對(duì)象，采用歐拉梁模型，建立柔性膜橫向運(yùn)動(dòng)偏差模型。通過仿真詳細(xì)地分析了柔性膜進(jìn)料輥橫向偏移、輥軸偏角、輸送速度、輸送張力變化等因素對(duì)橫向運(yùn)動(dòng)偏差的影響機(jī)理。并設(shè)計(jì)了柔性膜橫向運(yùn)動(dòng)偏差的檢測(cè)方案。
　　其次，建立了柔性膜在卷到卷輸送下縱向運(yùn)動(dòng)偏差動(dòng)力學(xué)模型。以單層段柔性膜及其所經(jīng)過的雙驅(qū)動(dòng)對(duì)輥為研究對(duì)象，基于質(zhì)量守恒分析，建立柔性膜縱向運(yùn)動(dòng)偏差模型。通過仿真詳細(xì)地分析了存在張力/速度波

3、動(dòng)情況下張力和速度變化對(duì)縱向運(yùn)動(dòng)偏差的影響機(jī)理。并設(shè)計(jì)了柔性膜縱向運(yùn)動(dòng)偏差的檢測(cè)方案。
　　最后，采用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了所提出的柔性膜橫/縱向運(yùn)動(dòng)偏差模型及規(guī)律。分別針對(duì)橫向運(yùn)動(dòng)偏差模型和縱向運(yùn)動(dòng)偏差模型的驗(yàn)證工作開展實(shí)驗(yàn)，驗(yàn)證了所提出模型能夠較好地描述卷到卷輸送下柔性膜實(shí)際運(yùn)動(dòng)偏差情況。
　　本文建立了卷到卷輸送工藝中柔性膜橫/縱向的運(yùn)動(dòng)偏差模型，并結(jié)合模型仿真和實(shí)驗(yàn)研究分析了各因素對(duì)橫/縱向偏差的影響機(jī)理，從而對(duì)卷到卷輸送工藝中