壓阻式壓力傳感器溫度補(bǔ)償方法實(shí)現(xiàn)的研究.pdf

1、壓阻式壓力傳感器具有精度高,靈敏度高,穩(wěn)定性好、頻率響應(yīng)范圍寬、易于小型化,便于批量生產(chǎn)與使用方便等特點(diǎn),是一種發(fā)展迅速,應(yīng)用廣泛的新型傳感器。但是由于半導(dǎo)體的溫度特性,壓阻式壓力傳感器會(huì)發(fā)生溫度漂移,在相當(dāng)程度上限制了壓阻式壓力傳感器的應(yīng)用。
　　 論文針對(duì)壓阻式壓力傳感器在測(cè)量當(dāng)中易發(fā)生溫度漂移的缺點(diǎn),研制了一種智能化的壓阻式傳感器溫度補(bǔ)償系統(tǒng)。該方法利用現(xiàn)代信號(hào)調(diào)理技術(shù),以溫度調(diào)理芯片為核心元件,采用計(jì)算機(jī)通過三次樣條插值

2、法對(duì)采集的溫度補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行擬合,從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)壓阻式壓力傳感器溫度漂移的高精度補(bǔ)償。而且由于引入了高性能的單片機(jī)控制模塊,使得此系統(tǒng)一次性可對(duì)多個(gè)壓阻式壓力傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償。論文的主要工作如下:
　　 1.對(duì)壓阻式壓力傳感器產(chǎn)生溫度漂移原理進(jìn)行了分析,深入分析了國內(nèi)外對(duì)擴(kuò)散硅壓力傳感器溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?總結(jié)利弊,確定了以數(shù)字化的溫度調(diào)理芯片為主體的補(bǔ)償方案。
　　 2.深入研究了MAX1452溫度調(diào)理芯片的補(bǔ)償原理,制定了

3、系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案,完成傳感器補(bǔ)償原理的推導(dǎo)論證工作。
　　 3.根據(jù)總體設(shè)計(jì)要求劃分溫度補(bǔ)償系統(tǒng)的各個(gè)功能模塊,并確定各個(gè)模塊的具體實(shí)現(xiàn)方案,以及繪制硬件電路板。
　　 4.針對(duì)MAX1452的補(bǔ)償原理進(jìn)行軟件開發(fā),設(shè)計(jì)傳感器溫度漂移的補(bǔ)償流程。通過VC+ACCESS數(shù)據(jù)庫的方式實(shí)現(xiàn)了高效的用戶界面,并采用三次樣條曲線對(duì)補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行擬合。
　　 5.針對(duì)單片機(jī)控制模塊,在MPLAB8.30開發(fā)環(huán)境下,完成程序的開發(fā)