硅壓阻式壓力傳感器高精度溫度補償技術研究.pdf

1、作為一種受到廣泛應用并且發(fā)展迅速的新型傳感器，硅壓阻式壓力傳感器具備以下特點：高精準度、高靈敏度、高穩(wěn)定性、寬工作頻率范圍、易于方法簡便、易于生產。然而，壓阻式壓力傳感器受到半導體溫度特性影響，會存在溫度漂移，從而在一定程度上限制了此傳感器的運用及推廣。
　　為了解決易發(fā)生溫度漂移的缺陷，論文就壓阻式壓力傳感器開發(fā)了兩套智能溫度補償系統(tǒng)。該套系統(tǒng)以現(xiàn)代信號處理技術為基礎理論，以溫度調芯片為核心原件，使用高性能數(shù)字信號處理器控制模塊

2、，采用三次樣條插值的方法進行溫度補償參數(shù)進行擬合，對壓阻式壓力傳感器的這一缺陷進行了精準的補償。
　　論文的主要內容如下：
　　1.分析了硅壓阻式壓力傳感器產生溫度漂移原因，比較了國內外對擴散硅壓力傳感器進行溫度補償?shù)姆椒?，建立了?shù)字和模擬兩種補償機制。
　　2.經過對MAX1452溫度調理芯片補償理論的一系列探討和研究，確立了智能溫度補償系統(tǒng)的方案計劃，并進行了推導論證。在遵循整體方案要求的前提下，設計了詳細的方案。