壓阻式壓力傳感器溫度補償?shù)难芯颗c實現(xiàn).pdf

1、壓阻式壓力傳感器是利用半導體材料硅的壓阻效應(yīng)制成的傳感器，具有靈敏度高，動態(tài)響應(yīng)快，測量精度高，穩(wěn)定性好，工作溫度范圍寬，易于小型與微型化，便于批量生產(chǎn)與使用方便等特點。因此，它是一種發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛的新型傳感器。壓阻式壓力傳感器的一個主要問題是溫度補償問題，由于溫度會對傳感器的靈敏度及測量精度產(chǎn)生很大的影響，在相當程度上限制了壓阻式壓力傳感器的使用，對傳感器進行溫度補償顯的尤為重要。 介紹了國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，分析了多種補償方法

2、，指出其利弊，總結(jié)補償思想，同時介紹了現(xiàn)代信號調(diào)理技術(shù)的發(fā)展。應(yīng)用信號調(diào)理芯片是現(xiàn)代常用的一種補償方法。本論文應(yīng)用智能化的模擬—數(shù)字混合信號調(diào)理技術(shù)，采用MAX1457，開發(fā)出了一整套溫度補償系統(tǒng)，經(jīng)調(diào)理后的傳感器綜合誤差不超過0.1﹪。MAX1457是一種專用傳感器信號調(diào)理芯片。此芯片集成化程度較高，可以補償硅壓阻式壓力傳感器的溫度誤差和非線性誤差。論文首先介紹了MAX1457芯片的結(jié)構(gòu)、及相關(guān)數(shù)學公式推倒，分析了芯片的設(shè)計思路，在結(jié)