基于數(shù)字信號處理技術(shù)的PSD相位法多光束同步檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、位置敏感探測器是一種基于橫向光電效應的半導體器件。它具有響應速度快、分辨率高、信號處理電路簡單、環(huán)境適應性好等優(yōu)點，特別適用于位移、角度、距離以及可以間接轉(zhuǎn)化為光斑位置或位移的其它物理量的非接觸高精度快速測量。目前基于PSD的光點探測方法有幅值法和相位法兩種，相位法具有幅值法無法比擬的一些優(yōu)點，如位置信息不依賴光強、適合多光束探測、處理電路簡單等，但目前針對相位法的研究還不夠深入，基本處于理論研究階段，要將其運用于工程實踐還需要做大量的

2、研究。基于此，本文在分析和研究現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，提出并設(shè)計了一種基于數(shù)字信號處理器（Digital Signal Processor，DSP）的PSD相位法多光束檢測系統(tǒng)。
　　本文首先介紹了PSD的發(fā)展和研究現(xiàn)狀，分析了PSD相位法檢測技術(shù)研究的必要性，提出了基于數(shù)字信號處理技術(shù)的PSD相位法檢測方案；論文接著論證和推導了基于數(shù)字信號處理技術(shù)的PSD相位法多光束檢測原理，主要包括基于RC傳輸線模型的相位法檢測技術(shù)和基于FFT算法

3、的多光束鑒相實現(xiàn)；在此基礎(chǔ)上，本文從系統(tǒng)功能需求出發(fā)，從性能、經(jīng)濟性和研究周期等方面進行分析，提出了基于TMS320F2812芯片的多光束檢測系統(tǒng)的總體設(shè)計方案，并按照此方案設(shè)計了包括信號調(diào)理電路、DSP最小系統(tǒng)和相關(guān)軟件程序的PSD相位法多光束檢測系統(tǒng)；在該實驗平臺上，本文進行了PSD的單光束和多光束標定實驗，并對實驗結(jié)果進行了分析總結(jié)；論文的最后部分對該系統(tǒng)的誤差進行了分類和分析并給出了減小誤差的方法及建議。
　　實驗表明，P