超高真空常用材料不銹鋼、無(wú)氧銅和鋁合金的升溫脫附譜.pdf

1、該論文簡(jiǎn)要分析了超高真空狀態(tài)下限制極限真空度的因素和機(jī)理,重點(diǎn)介紹了真空材料的升溫脫附對(duì)真空度的重要影響.設(shè)計(jì)并加工了超高真空材料的烘烤升溫脫附譜的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,并用此設(shè)備測(cè)出了真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料不銹鋼、無(wú)氧銅和鋁合金的烘烤脫附譜和三者的各種殘余氣體成分(主要是H<,2>、H<,2>O、CO、CO<,2>、CxHy)在不同溫度時(shí)的離子流(BALZERS-200型四極質(zhì)譜).分析了三種真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)材料對(duì)各種主要?dú)堄喑煞值暮婵拘阅?比較了三者的烘

2、烤脫附譜;最后計(jì)算出了一定工藝過(guò)程處理后的三種材料的放氣率.雖然真空室壁材料的氣體脫附是其固有的性質(zhì),無(wú)法消除,但我們可以設(shè)法減小脫附放氣量.大量實(shí)驗(yàn)證明,通過(guò)適當(dāng)?shù)臏囟群婵竞?真空室的脫附放氣量可以顯著減少,極限壓強(qiáng)可以提高幾個(gè)數(shù)量級(jí).因此研究超高真空材料的烘烤脫附譜對(duì)于獲得超高真空和提高極限真空度有重要的意義.同時(shí)超高真空材料在不同溫度時(shí)的脫附放氣量又可以為真空烘烤提供指導(dǎo).目前,真空材料的升溫脫附譜在真空界沒(méi)有公認(rèn)值,因?yàn)楦魅藴y(cè)最