基于MINITAB15軟件平臺的小面積管芯免中測研究.pdf

1、隨著綠色照明工程的推廣,節(jié)能燈和熒光燈的應(yīng)用越來越廣泛,電子鎮(zhèn)流器的用量也隨之而增大[15]。本文根據(jù)現(xiàn)有深愛公司設(shè)備工藝條件,進(jìn)行工程設(shè)計、優(yōu)化實驗,應(yīng)用一定的統(tǒng)計工具和方法對提高產(chǎn)品合格率,達(dá)到0.83mm*0.83mm管芯免中測。本文屬于工程設(shè)計類論文,全文圍繞現(xiàn)有設(shè)備及工藝路線,結(jié)合技術(shù)中心改版、排版等優(yōu)化手段,分階段、分工序、有計劃的進(jìn)行相關(guān)實驗,所取得的大量數(shù)據(jù)應(yīng)用Minitab15軟件進(jìn)行統(tǒng)計分析,通過材料、擴(kuò)散、光刻、C

2、VD和金屬化共同努力,合格率有了明顯的提高,特別是CVD在改善氮化硅同片均勻性上的改善,對該項目有著至關(guān)重要的影響。最終我們項目組在大量實驗數(shù)據(jù)證明下,我們確定了幾個重要的影響因素:1)光刻版質(zhì)量,嚴(yán)格控制每一批免測片做片所使用的光刻版質(zhì)量;2)專人專設(shè)備,對放大倍數(shù)一致性、表面SIPOS膜層一致性和鋁層一致性有較大的改善作用;3)各個工序一次性通過概念,通過培訓(xùn)提高一次性通過率,降低返工;4)單獨的不打點抽測方案,通過測量系統(tǒng)分析軟件