MEMS技術的磁流體陀螺儀關鍵技術的研究.pdf

1、陀螺儀是一種測量運動體角速度的傳感器，傳統(tǒng)的陀螺儀存在體積大、重量重、結構復雜、對工藝結構的要求高、精度受到了很多方面的制約，使用起來很不方便。隨著微機電系統(tǒng)技術的發(fā)展，對小尺寸、低成本、高性能和高可靠性的微陀螺儀的需求極大的促進了陀螺儀產(chǎn)品的商業(yè)化。本項目研究的是一種基于微機電系統(tǒng)技術的磁流體陀螺儀，具有體積小、質(zhì)量輕、批量生產(chǎn)成本低、易于制造、輸出電壓信號便于檢測等優(yōu)點，因而具有廣泛的應用前景。 本文首先介紹了微機電系統(tǒng)技

2、術，回顧了陀螺儀的發(fā)展歷程以及目前的發(fā)展現(xiàn)狀，闡述了常見陀螺儀的基本工作原理，然后在分析了不同陀螺儀的優(yōu)缺點，列出了磁流體陀螺儀的優(yōu)勢。 分析了磁流體力學和磁流體的電磁感應原理，在此理論基礎上提出了一種新型的磁流體陀螺儀，通過討論影響磁流體陀螺儀輸出信號的因數(shù)，特別是水銀與玻璃之間的滑移，分析流通通道內(nèi)流體的流速狀態(tài)，設計并制造出了該陀螺儀的原型機。 最后，根據(jù)磁流體陀螺儀的設計要求，確定了陀螺儀測試平臺的系統(tǒng)方案。