硅微振動(dòng)陀螺儀驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文以本課題組自行設(shè)計(jì)的硅微角振動(dòng)單自由度陀螺儀為研究對(duì)象,圍繞如何提高驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定性的目的,對(duì)硅微振動(dòng)陀螺儀的驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)及相關(guān)問(wèn)題進(jìn)行了研究。 針對(duì)硅微振動(dòng)陀螺儀的工作特點(diǎn),本文首先研究了硅微梳齒驅(qū)動(dòng)器的工作特性,提出了驅(qū)動(dòng)控制的要求。結(jié)合驅(qū)動(dòng)控制的特點(diǎn),本文還討論了限制硅微振動(dòng)陀螺儀測(cè)量能力的各種噪聲和誤差因素以及相應(yīng)的消除和抑止方法,進(jìn)而分析比較了硅微振動(dòng)陀螺儀中的各種微小電容檢測(cè)技術(shù)。在大量的開(kāi)環(huán)驅(qū)動(dòng)實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上,本文討論了

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