單晶爐總線型驅(qū)動及溫度控制子系統(tǒng)研制.pdf

1、直拉單晶硅是半導體和太陽能行業(yè)的最基礎(chǔ)的材料。隨著半導體和太陽能技術(shù)的飛速發(fā)展，對單晶硅材料制造業(yè)也提出了更高的要求。單晶爐是直拉法制備硅單晶的關(guān)鍵技術(shù)裝備，近年來，自主研發(fā)的直拉單晶爐正向著大投料量、大直徑、高品質(zhì)以及全自動控制的方向發(fā)展。硅單晶的生長是在多個電機的驅(qū)動下，在一個合理的熱場下完成的。因此，一套平穩(wěn)的、精確的運動控制系統(tǒng)和高精度的溫度控制系統(tǒng)是必不可少的。
　　 首先，本文針對單晶爐運動系統(tǒng)部分測量信號和控制信號

2、較多，并且對控制系統(tǒng)的高精度和高可靠性的要求，詳細描述了基于CAN總線的單晶爐運動系統(tǒng)的設(shè)計方案，其中包括單晶爐慢速系統(tǒng)、快速系統(tǒng)以及副室旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的硬件電路設(shè)計，以及控制程序的編寫流程。研制的單晶爐運動系統(tǒng)已在實際生產(chǎn)，中應(yīng)用，根據(jù)使用的情況來看，該全自動運動系統(tǒng)達到了設(shè)計的要求和目標。
　　 再次，本文還針對高精度的溫度控制系統(tǒng)的要求，詳細描述了基于CAN總線的溫度控制系統(tǒng)的設(shè)計方案，其中包括溫度采集子模塊的硬件電路設(shè)計、程序