單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究.pdf

1、提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中最重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度最高,晶體尺寸最大,晶體質(zhì)量最好,最易實(shí)現(xiàn)自動控制,因此獲得了最廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)高質(zhì)量單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文首先介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法

2、,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了系統(tǒng)UG三維實(shí)體建模、動平衡數(shù)學(xué)建模、計(jì)算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計(jì)算的結(jié)果證明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計(jì)算,三維軟件UG建模計(jì)算和該設(shè)備“以動測靜”法的平衡實(shí)驗(yàn)；完成了相關(guān)理論與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的對比分析,根據(jù)分析結(jié)果,