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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文石英晶體彎曲效應(yīng)的研究及應(yīng)用姓名:王英光申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):機(jī)械制造及其自動(dòng)化指導(dǎo)教師:孫寶元20030601百英晶體彎曲效應(yīng)的研究及應(yīng)用AbstractPiezoelectricmaterialshavebeenusedwidelyandtheireffectshavebeeninvestigatedindetailwiththedevelopmentofscienceandtechnologyhoweve
2、r,theresearchesofpiezoelectricbendingeffectonlystayonthelevelofexperimentsandmeasurementsConsideringthissituation,thispapertheoreticallyexplainstheexistenceofpiezoelectricbendingeffectanddesignsonekindofmonolithicmicrovi
3、brationactuatorbasedonthistheoryThisprojectissupportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina(No69774020)andtheScientificResearchFoundationonDoctoralSubjectoftheMinistryofEducation(No98014106&No20010141006)Fromtheap
4、plicationaspectofengineering,interdisciplinaryknowledgesuchasPhysicsofCrystals,PhyrsicsofDielectrics,TheoryofElasticityPiezoelectricityisutilizedintheinvestigationonthepiezoelectricbendingeffectofquartzcrystalTheinnerstr
5、essdistributionofquartzrodisinvestigatedfirstlybyusingthepurebendingtheoryofanisotropicbeam,andnumericalsolutionisapproachedTheinnerelectricpolarizationfieldisdeducedbyusingpiezoelectricequationConsideringtheequivalentpr
6、incipleofelectricfield,thedistributionofequivalentbodyandsurfaceboundchargesisalsodeducedTheexistenceofdirectpiezoelectricbendingeffectofquartzcrystalisverifiedbyboththeoryandexperimentBasedonamonolithicY00cutquartzcryst
7、albarthispaperdiscussestheconvemepiezoelectricbendingeffectanddeducesatheoreticallinearrelationshipbetweenthedeflectionatthetiDOfthebeamandthedrivingvoltageThispartofworkestablishestherelationshipbetweenelectricityandmec
8、hanicsThereforeitpresentsamethodoninvestigatingpiezoelectricbendingeffectOnthebaseofthemathematicalbendingeffectmodel,thispaperalsooptimizesthesinglerotatedcrystalcuts,anddesignsamonolithicmicroactuatorwhichcarlvibratein
9、bothXandYdirectionsusedinmicro’carving,consideringthefollowingfactors,suchassinglevibratingmode,piezoelectricactivityzerotemperaturecoefficientetcFinallythisthoughtisverifiedtobefeasiblebyaqualitativeexperimentTheaccomDl
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