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文檔簡介
1、由于工藝失誤或長期曝露在不利的外界因素(力、溫度、濕度等)之下,機械構(gòu)件的結(jié)構(gòu)特性發(fā)生部分甚至整體的改變最后導致原有的機械功能失效,而機械構(gòu)件表面形貌數(shù)據(jù)對失效機制的判斷及分析提供直觀有效的信息,因此我們有必要分析工件表面形貌。而在各種微表面形貌測量方法中,白光相移干涉術(shù)不僅能實現(xiàn)三維、微納級精度的快速非接觸測量,而且系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、成本較低。因此本文利用白光相移干涉術(shù)對金屬材料斷口三維形貌進行檢測和分析。
本文介紹了基于PZT
2、微納掃描定位裝置的白光相移干涉測量系統(tǒng),主要對光源、顯微物鏡、探測器CCD等器件進行了選定;并采用一種快速FFT分塊算法改進PZT精密微納掃描定位系統(tǒng)三維重建速率慢的缺點,實驗表明新算法能較好地提高系統(tǒng)成像效率。其次采用白光掃描干涉術(shù)對30CrMnSiA合金疲勞與韌窩斷口表面微觀復(fù)雜形貌進行檢測,并利用空間頻域算法、快速FFT分塊算法逐步完成了斷口微觀三維形貌高質(zhì)量的重建。
為了對三維形貌處理數(shù)據(jù)進行表征分析,文章通過2D-M
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