銅互連結構的力學性質及基于互連結構制備的阻變存儲器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、指導小組成員：吳曉京教授張聽副教授25電阻開關過程中的導電路徑2026集成前精213本論文的選題意義和研究內容23參考文獻25第二章Cu／Ta／Si02／Si多層膜納米壓入與壓痕F微觀結構的研究32212223銅互連體系的可靠性問題與力學特性32納米壓入實驗方法33實驗過程35231樣品制備35232納米壓入實驗36233壓痕F微觀結構的研究3724實驗結果及討論3824I壓痕形貌38242硬度與彈性模量～39243壓痕下方的微觀結構4

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