復(fù)合量程微加速度計(jì)溫度補(bǔ)償?shù)难芯?pdf

1、近年來，隨著我國(guó)國(guó)防事業(yè)，工業(yè)，環(huán)境保護(hù)，自動(dòng)控制等行業(yè)的高科技產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，硅微加速度計(jì)的發(fā)展也因其體積小，高可靠性，易于集成，可大規(guī)模大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)處于一個(gè)上升階段。其發(fā)展對(duì)增強(qiáng)二十一世紀(jì)軍事和民用領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步起著至關(guān)重要的作用。硅微加速度計(jì)的精度在很大程度上受溫度的影響，因此硅微加速度計(jì)的溫度補(bǔ)償技術(shù)在當(dāng)前國(guó)內(nèi)慣性技術(shù)研究領(lǐng)域成為了重要課題。本文在研究了現(xiàn)階段國(guó)內(nèi)外各種溫度補(bǔ)償技術(shù)后，針對(duì)我們所做的復(fù)合量程微加速度計(jì)，采用了硬件

2、電路補(bǔ)償與軟件算法補(bǔ)償相結(jié)合的方法，把重點(diǎn)放在其溫度漂移的零位漂移和靈敏度漂移上，更好的實(shí)現(xiàn)硅微加速度計(jì)的精確性測(cè)量。本文主要內(nèi)容分以下四步：
　　1.分析了復(fù)合量程加速度計(jì)的溫度漂移，提出了一種結(jié)合硬件電路與軟件算法的補(bǔ)償方法，可以更加準(zhǔn)確的采集電壓信號(hào)，使電壓信號(hào)不受外界環(huán)境變化的影響，具有良好的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，軟硬件相互輔助共同解決外界環(huán)境溫度引起的問題。
　　2.設(shè)計(jì)系統(tǒng)基于DSP的硬件補(bǔ)償電路，主要包括電橋平衡電路、加速

3、度信號(hào)采集電路和溫度信號(hào)采集電路及其他外圍電路的設(shè)計(jì)。
　　3.設(shè)計(jì)系統(tǒng)的軟件程序，主要包括主程序、加速度信號(hào)采集程序、溫度信號(hào)采集程序、A/D轉(zhuǎn)換程序及RS232串行通信程序。
　　4.設(shè)計(jì)系統(tǒng)的控制算法。把最小二乘算法和牛頓插值法有機(jī)結(jié)合，改善系統(tǒng)的特性。
　　本文在分析了整個(gè)溫度補(bǔ)償電路的設(shè)計(jì)思路后，結(jié)合加速度傳感器的自身特點(diǎn)，深入研究了各種補(bǔ)償思想，分析能夠?qū)崿F(xiàn)高精度補(bǔ)償?shù)脑颍⒃O(shè)計(jì)出電路補(bǔ)償模塊，最后成功地