基于溫敏結(jié)構(gòu)的硅微諧振式加速度計溫度補償技術(shù)研究.pdf_第1頁
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1、IIIIIIIIIIIIIIIIIIIIf#陵f＼、6昏Y344990510286ji陵代6昏潦哥鰳唧加e—DV2414／C慚級：內(nèi)部于擇／耐7如’zcbJ’U68l隸初大◆瑩工程碩士學(xué)位論文基于溫敏結(jié)構(gòu)的硅微諧振式加速度計溫度補償技術(shù)研究(學(xué)位論文形式：綜合研究)研究生姓名：導(dǎo)師姓名：申請學(xué)位類別王猩亟學(xué)位授予單位塞壺盍堂]：程領(lǐng)域名稱叢益邀盍王猩淪文答辯I_期至Q!魚生魚旦至旦研究方向測控撞苤皇蟹篚丕統(tǒng)學(xué)位授予II期至Q!魚生旦旦答

2、辯委員會卜席奎堡蝰麴攫評閱人王麥苤麴攫盛丞里副研窒員2016年06月02口RESEARCHONTEMPERATURECOMPENSATIONTECHNOLOGYOFMICROMECHANICALSILICONOSCILLATINGACCELEROMETERBASEDONTEMPERATURESENSITIⅦSTRUCTURE’ADissertationSubmittedtoSoutheastUniversityFortheAcademi

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