標(biāo)樣氣體進(jìn)樣系統(tǒng)性能研究.pdf

1、“標(biāo)樣氣體進(jìn)樣系統(tǒng)”用于分壓力質(zhì)譜計的校準(zhǔn)，可配制標(biāo)樣氣體并向質(zhì)譜校準(zhǔn)室中進(jìn)樣，是質(zhì)譜計校準(zhǔn)技術(shù)的一個重要組成部分。 本文主要對“標(biāo)樣氣體進(jìn)樣系統(tǒng)”的性能進(jìn)行了深入系統(tǒng)的研究。由于將標(biāo)樣混合氣體引入校準(zhǔn)室時，一方面小孔的流導(dǎo)隨氣體成分、氣體流動狀態(tài)的不同而不同，另一方面抽氣泵對不同種類氣體的抽速也是不同的，這樣會使校準(zhǔn)室中混合氣體的比例與標(biāo)樣混合氣體的比例產(chǎn)生差異，而“標(biāo)樣氣體進(jìn)樣系統(tǒng)”采用了獨(dú)特的雙小孔進(jìn)樣，在分子流進(jìn)樣條件下

2、，進(jìn)樣前后氣體的成分比例不會改變，保證了分壓力質(zhì)譜計校準(zhǔn)的要求。 本文研究了標(biāo)樣氣體進(jìn)樣系統(tǒng)配樣、進(jìn)樣和校準(zhǔn)原理，以及采用單一氣體和混合氣體、單孔材料進(jìn)樣和多孔材料進(jìn)樣對系統(tǒng)性能進(jìn)行了研究，給出靈敏度*和相對靈敏度隨進(jìn)樣室壓力變化的曲線，并對試驗結(jié)果進(jìn)行了分析和討論。通過比較單一氣體和混合氣體進(jìn)樣，結(jié)果發(fā)現(xiàn)四極質(zhì)譜計用單一氣體校準(zhǔn)的靈敏度*與混合氣體校準(zhǔn)的靈敏度是不同的，所以用四極質(zhì)譜計精確測量分壓力之前，必須要用相應(yīng)的氣體進(jìn)行