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文檔簡介
1、四光束激光干涉研究是激光干涉應(yīng)用研究的新興領(lǐng)域，該研究受到世界各國的廣泛關(guān)注。而基于這一研究領(lǐng)域的微納米定位方法研究也逐漸成為了該領(lǐng)域的一個重要分支。
論文通過構(gòu)建四光束激光干涉系統(tǒng)，對采集干涉圖案過程中的干擾因素進(jìn)行了分析及噪聲處理。對于濾波后的干涉圖案的定位處理是本文的研究重點，論文從邊緣檢測理論著手引出亞像素邊緣檢測算法，分析了基于矩保持的、插值的以及曲線擬合的亞像素邊緣檢測算子，給出了三種算法對四光束激光干涉圖案的處理
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