2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、基于MEMS工藝的麥克風(fēng)以微尺寸、抗干擾、耐熱等優(yōu)點(diǎn)得到了廣泛的應(yīng)用,巨大的市場需求使MEMS麥克風(fēng)的生產(chǎn)亟待需要批量化自動生產(chǎn),而國內(nèi) MEMS麥克風(fēng)制造中的貼片工藝大部分依靠操作者在顯微鏡下完成,效率低下,可靠性差,成為大批量生產(chǎn)的瓶頸。因此,研究高速高精度的自動化貼片系統(tǒng)對 MEMS麥克風(fēng)的批量制造有重大意義。
  本文首先分析了MEMS貼片工藝流程,針對貼片工藝分析了貼片系統(tǒng)的功能模塊及組成,結(jié)合貼片系統(tǒng)的技術(shù)要求,確定了

2、視覺系統(tǒng)應(yīng)具有的功能,從而設(shè)計(jì)并建立了MEMS自動貼片的視覺系統(tǒng)。最后對視覺定位原理進(jìn)行分析,為高精度定位提供理論依據(jù)。
  針對高速貼片的要求,將飛行視覺技術(shù)引入到視覺系統(tǒng)中。對目前典型的飛行視覺方案進(jìn)行技術(shù)分析后,提出一種基于旋轉(zhuǎn)式反射鏡的飛行視覺方案,并通過飛行視覺成功采集了芯片圖像?;谔荻仍u價(jià)函數(shù)對圖像清晰度進(jìn)行評價(jià)后得到的結(jié)果證明該方案是可行的。
  針對貼片的高速高精度要求,對視覺系統(tǒng)中的圖像處理算法進(jìn)行了研究

3、。通過改進(jìn)Canny算法,成功實(shí)現(xiàn)了自適應(yīng)的Canny邊緣檢測;基于粗一細(xì)結(jié)合的思想,使用Hough變換算法實(shí)現(xiàn)了芯片的快速檢測;采用了一種改進(jìn)的快速Hough圓檢測算法,并將該算法和最小二乘圓(LSC)算法結(jié)合達(dá)到亞像素的檢測精度;針對質(zhì)量檢測的快速要求,提出了基于復(fù)合投影的快速匹配算法;并對上述算法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析,實(shí)驗(yàn)結(jié)果滿足貼片的高速高精度要求。
  最后編寫了貼片系統(tǒng)的控制軟件,對視覺系統(tǒng)的定位和質(zhì)量檢測進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析,結(jié)

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