微電子機(jī)械系統(tǒng)中新型電磁微電機(jī)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微電子機(jī)械系統(tǒng)(簡稱微機(jī)械)是在八十年代后期崛起的一門新興的前沿學(xué)科。目前，作為二十一世紀(jì)的高新技術(shù)和潛在的龐大高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，微機(jī)械已引起世界各國的普遍關(guān)注，國內(nèi)外眾多的大學(xué)、科研和產(chǎn)業(yè)部門都正在進(jìn)行廣泛深入的研究。微機(jī)械是一種獨立的微小型化的機(jī)電系統(tǒng)，主要由微驅(qū)動器，微傳感器，微執(zhí)行器、微控制器以及能源等幾種要素組成。以微電機(jī)為代表的微驅(qū)動器一直是微機(jī)械系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)和研究熱點之一，微電機(jī)的技術(shù)水平在一定程度上反應(yīng)了一個國家微機(jī)械發(fā)展

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