基于卡西米爾勢(shì)能溫度場的微電子機(jī)械系統(tǒng)性能研究.pdf

1、由于量子電磁場零點(diǎn)漲落，真空中呈現(xiàn)電中性的物體之間存在相互作用力，即卡西米爾力，這種效應(yīng)稱為卡西米爾效應(yīng)?？ㄎ髅谞栃?yīng)對(duì)量子電動(dòng)力學(xué)、凝聚態(tài)物理、數(shù)學(xué)物理以及微器件方面等都起著推動(dòng)的作用。
　　微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的新興學(xué)科，它是指集微型機(jī)械、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展顯示出巨大的生命力，它把信息系統(tǒng)的微型化、智

2、能化、多功能化和可靠性水平提高到新的高度。
　　本文簡要介紹了卡西米爾效應(yīng)，微電子機(jī)械系統(tǒng)的相關(guān)理論，以及卡西米爾效應(yīng)的實(shí)驗(yàn)研究。同時(shí)給出了文獻(xiàn)[3]中含有卡西米爾勢(shì)能熱場的Klein-Gordon方程的詳細(xì)推導(dǎo)過程，與文獻(xiàn)[3]得到了相同的結(jié)論。為了更直觀的了解含有卡西米爾勢(shì)能的熱場對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的影響，對(duì)方程進(jìn)行了數(shù)值解的運(yùn)算，給出了不同參數(shù)下的卡西米爾效應(yīng)對(duì)溫度場的影響。這表明卡西米爾效應(yīng)在微電子機(jī)械系統(tǒng)中的應(yīng)用具有理論意