高純氮?dú)饧兓に嚰拔⒑哿拷M分分析方法的研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩79頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中,幾乎各個工序都會用到超高純氣體,器件的質(zhì)量與超高純氣體的純凈度密切相關(guān)。而高純氮?dú)馐菓?yīng)用最廣泛的高純氣體之一,它主要用于半導(dǎo)體、電子、冶金、化工、熱處理等行業(yè)。近年來,對高純氮?dú)怏w的純度要求越來越高,如半導(dǎo)體高精尖技術(shù)領(lǐng)域單晶硅的制備要求保護(hù)氣體N2的純度在99.9999%以上,而我國目前生產(chǎn)的高純N2氣體純度一般為99.999%以下。此外,高純氣體中痕量組分的定值分析方法的欠缺是制約我國高純氣體進(jìn)一步提高純度的瓶頸

2、。 本文改進(jìn)了高純氮?dú)飧邏杭兓に?,通過催化吸附的方法對原料氣進(jìn)行純化,可以純化得到純度在99.9999%以上的高純氮?dú)?。通過改進(jìn)充氣排,采用先進(jìn)的無縫焊接技術(shù),保證了充裝到鋼瓶中的氮?dú)饧兌龋瑢?shí)現(xiàn)了高純氮?dú)獾呐可a(chǎn)。 進(jìn)行了對高純氣體中的微痕量雜質(zhì)組分分析方法的研究,包括脈沖放電氦電離色譜法測無機(jī)氣體、傅立葉紅外光譜法測定CO和CO2、微量氧及微量水的檢測方法等。綜合以上分析方法,對新的純化工藝生產(chǎn)得到的高純氮?dú)膺M(jìn)行了

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論