納米尺度銅互連體系中的電學(xué)及熱學(xué)行為研究.pdf_第1頁(yè)
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1、：塑堂墾些塑墨些苧墨!塑皇蘭墨墊蘭塹塑塑堅(jiān)指導(dǎo)小組成員劉冉仇志軍教授副教授復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)系復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)系也。鑒■噩iIL“—■—■‘_d_‘l_‘_納束R廑锏連體幕中的電學(xué)腱熱學(xué)行為日f(shuō)兜目錄中文摘要1ENGLISHABSTRACT，，3第一章緒論5l1先進(jìn)銅互連系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與工藝512銅互連系統(tǒng)納米尺度下的模擬與表征613論文框架與主要研究成果第二章互連線納米尺度電學(xué)輸運(yùn)模擬21基于第一性原理計(jì)算的銅表面點(diǎn)陣動(dòng)力學(xué)研究2I1第一性原

2、理計(jì)算介紹212KohnSham方程3213密度泛函微擾理論14214表面聲子譜計(jì)算22基于蒙特卡羅方法的BOLTZMANN電學(xué)輸運(yùn)模擬17221自由飛行222散射事件模擬223末態(tài)選擇823納米銅互連線內(nèi)主要散射機(jī)制20231電子一體聲子非彈性敞射(Inelasticacousticscattering)22232晶界散射(grainboundaryseauedng)23233表面粗糙彈性反射(surfaceroughnesselas

3、ticscattering)234電子表面聲子非彈性散射(inelasticsurfacephononscaHefing)2424納米銅互連BOLTZMANN電學(xué)輸運(yùn)模擬一2525基于表面非彈性散射的電，熱耦合模型251從聲子能量密度到溫度：德拜模型252表面非彈性敝射的電熱耦臺(tái)模型第三章基于LBM的微觀尺度熱學(xué)模擬3l微觀尺度熱學(xué)輸運(yùn)研究概述苷311分子動(dòng)力學(xué)方法28312Boltzmarm輸運(yùn)方程3031鼬2LBM熱學(xué)輸運(yùn)理論基礎(chǔ)和

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