ULSI中互連的電學(xué)和熱學(xué)特性的建模及模擬.pdf

1、提出了將模擬電荷法用于計(jì)算多導(dǎo)體互連電容矩陣的一種新的算法,該算法與已有的用互互連電容矩陣提取的算法（如有限差分法、有限元法）相比,計(jì)算速度快、通用性高,在算法的實(shí)現(xiàn)中,采用DFP優(yōu)化算法加速了計(jì)算過(guò)程中的收斂性,基于此算法,開(kāi)發(fā)了用于多導(dǎo)體互連電容參數(shù)提取的通用程序.推導(dǎo)出了任意頻率下具有矩形橫截面的三維ULSI互連線的自感以及兩極相等或不等長(zhǎng)度的平行互連線的互感公式.利用上述公式可以計(jì)算任意垂直或平行互連線結(jié)構(gòu)的互感和總電感,物理意

2、義明確,得出的計(jì)算值與數(shù)值模擬軟件FASTHENRY的模擬結(jié)果相比,偏差小于5﹪.改進(jìn)了AWE法（漸近波形估值法）并用它來(lái)模擬RLC互連電路.用AWE法的模擬結(jié)果來(lái)確定一根互連導(dǎo)線的最壞條件延遲時(shí)間和過(guò)沖以及兩極耦合互連導(dǎo)線間的竄擾.這些新的模擬結(jié)果增強(qiáng)了對(duì)GSI多層互連網(wǎng)絡(luò)的電感效應(yīng)的理解和優(yōu)化設(shè)計(jì).提出了一個(gè)計(jì)算互連系統(tǒng)熱特性的準(zhǔn)二維解析模型,用ANSYS模擬結(jié)果作了比較,符合很好.ANSYS數(shù)值模擬結(jié)果表明：低K介質(zhì)的引入將導(dǎo)致互