2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、半導(dǎo)體制造技術(shù)從微米時(shí)代進(jìn)入了納米時(shí)代,世界上先進(jìn)的半導(dǎo)體公司已經(jīng)能夠生產(chǎn)32納米的芯片,越來越多的先進(jìn)技術(shù)和設(shè)備被引進(jìn)到半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中。在不斷的先進(jìn)技術(shù)開發(fā)制造過程中,需要先進(jìn)的失效FA的分析,對生產(chǎn)制造過程中遇到的良率問題進(jìn)行分析,找到問題的真正原因,并提出失效模型,與生產(chǎn)部門共同解決問題,提高產(chǎn)品的良率。
   本論文詳細(xì)的闡述了亞微米集成電路制造過程的先進(jìn)設(shè)備和工藝流程以及失效分析的設(shè)備原理和應(yīng)用。論文研究了在先進(jìn)的大

2、規(guī)模集成電路制造工廠常用的失效分析設(shè)備的種類和應(yīng)用。例如:掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等,這些技術(shù)和手段的應(yīng)用極大地推動(dòng)了電子元器件失效分析技術(shù)的發(fā)展,使失效機(jī)理研究工作進(jìn)一步深化。介紹了集成電路的主要工藝流程,并且重點(diǎn)介紹了失效分析技術(shù)在這些工藝中的應(yīng)用,結(jié)合本論文作者實(shí)際工作經(jīng)驗(yàn),對集成電路制造工藝中發(fā)生的典型事件,運(yùn)用失效分析設(shè)備和失效分析技術(shù),進(jìn)行分析,從事件的起因過程,到事件的本質(zhì)原因以及最終的解決方案,進(jìn)行全程追蹤,并與工

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