KDP晶體超精密加工表面質量控制方法的研究.pdf

1、KDP晶體作為優(yōu)質的非線性光學材料，廣泛的應用于激光非線性光學領域。但是，KDP晶體具有一些不利于光學加工的特點，因此被公認為最難加工的光學材料。同時，國外在KDP晶體的超精密加工技術方面對我國重點保密。因此，必須盡快提高我國高精度光學零件的機械加工水平，只有深入研究KDP晶體超精密加工機理及加工工藝方法，才能滿足我國光學領域對KDP晶體加工質量的要求。
　　本文主要對提高KDP晶體超精密加工表面質量的方法進行了深入的研究，首先采

2、用通用旋轉組合設計的方法進行實驗設計，再通過KDP晶體超精密切削實驗，得到一系列實驗數(shù)據(jù)，最后對實驗結果進行回歸分析，建立了表面粗糙度關于切削參數(shù)的預測模型。通過對模型的分析，得到了切削參數(shù)對表面粗糙度的影響規(guī)律。
　　其次，根據(jù)KDP晶體的材料特性，建立了KDP晶體超精密切削加工有限元模型。通過有限元仿真系統(tǒng)地分析了切削參數(shù)對KDP晶體超精密加工過程的影響。同時，運用通用旋轉組合設計的方法對仿真數(shù)據(jù)進行回歸分析，建立了超精密加工