KDP晶體超精密加工表面質(zhì)量控制方法的研究.pdf

1、KDP晶體作為優(yōu)質(zhì)的非線性光學(xué)材料，廣泛的應(yīng)用于激光非線性光學(xué)領(lǐng)域。但是，KDP晶體具有一些不利于光學(xué)加工的特點(diǎn)，因此被公認(rèn)為最難加工的光學(xué)材料。同時(shí)，國外在KDP晶體的超精密加工技術(shù)方面對(duì)我國重點(diǎn)保密。因此，必須盡快提高我國高精度光學(xué)零件的機(jī)械加工水平，只有深入研究KDP晶體超精密加工機(jī)理及加工工藝方法，才能滿足我國光學(xué)領(lǐng)域?qū)DP晶體加工質(zhì)量的要求。
　　本文主要對(duì)提高KDP晶體超精密加工表面質(zhì)量的方法進(jìn)行了深入的研究，首先采

2、用通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的方法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，再通過KDP晶體超精密切削實(shí)驗(yàn)，得到一系列實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，最后對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行回歸分析，建立了表面粗糙度關(guān)于切削參數(shù)的預(yù)測模型。通過對(duì)模型的分析，得到了切削參數(shù)對(duì)表面粗糙度的影響規(guī)律。
　　其次，根據(jù)KDP晶體的材料特性，建立了KDP晶體超精密切削加工有限元模型。通過有限元仿真系統(tǒng)地分析了切削參數(shù)對(duì)KDP晶體超精密加工過程的影響。同時(shí)，運(yùn)用通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的方法對(duì)仿真數(shù)據(jù)進(jìn)行回歸分析，建立了超精密加工