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1、CdZnTe(CZT)晶體材料由于其優(yōu)異的光電性能,得到了人們的廣泛注意.它不僅是生長紅外探測(cè)器材料HgCdTe最理想的外延襯底,而且還被廣泛用于制備高性能x射線或γ射線探測(cè)器、光電調(diào)制器、太陽能電池和激光窗口等.獲得高性能、高質(zhì)量的CZT晶體是至關(guān)重要的.無論是作探測(cè)器還是作外延襯底等都要求它的表面質(zhì)量要非常高,因?yàn)楸砻尜|(zhì)量會(huì)直接影響到器件的性能.目前CZT晶片的表面質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn),中國正在制定中.該文提出了從三個(gè)方面來表征晶片的表面質(zhì)量
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