四探針方塊電阻測試系統(tǒng)誤差分析及可靠性研究.pdf

1、四探針方塊電阻（又叫薄膜電阻）測試儀是半導(dǎo)體制造中常用的檢測儀器之一，用以測量半導(dǎo)體材料的電阻率和薄膜的方塊電阻，同時達(dá)到測量半導(dǎo)體薄層材料的摻雜濃度和薄膜厚度、控制器件和集成電路性能的目的。
　　目前半導(dǎo)體集成電路迅猛發(fā)展，帶動相關(guān)測試技術(shù)發(fā)展。隨著集成度的提高，器件尺寸的不斷縮小，晶圓尺寸的增大，要求測試系統(tǒng)的測量精度、穩(wěn)定性、分析和數(shù)據(jù)處理的能力不斷提高。半導(dǎo)體電阻率測量應(yīng)用廣泛，在進(jìn)口測量設(shè)備非常昂貴下，國產(chǎn)四探針方塊電阻

2、、電阻率測試系統(tǒng)市場很好，開發(fā)先進(jìn)的四探針方塊電阻測試系統(tǒng)很有意義。
　　本文對四探針技術(shù)測量半導(dǎo)體薄層電阻及半導(dǎo)體材料電阻率的重要性進(jìn)行了分析，論述了常用的幾種四探針測量技術(shù)的基本原理，并對比了各自的特點(diǎn)和適用對象。討論了影響四探針測試儀測量穩(wěn)定性的共性因素。介紹了新研制的數(shù)字式直線四探針薄層電阻測試系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)思路和方案，闡述了其工作原理，硬件組成、各部分要求。重點(diǎn)對該測試系統(tǒng)的測量誤差及可靠性進(jìn)行分析研究，分析了測試誤差形