三維掃描微動平臺設計與研制.pdf

1、隨著科技的進步，通信工程、精密工程等領域的快速發(fā)展，高精度、高分辨率、高可靠性的精密定位系統(tǒng)的研究越來越受到重視，發(fā)展也越來越快。國外對這一技術領域研究較早，成果顯著，而我國相對起步較晚，技術相對落后。本文搜集了大量相關資料，對國內(nèi)外的高精度運動平臺的原理及特點進行了總結和分析。設計并研制了一套用于三維輪廓掃描儀的高精度三維掃描微動平臺，詳細介紹了平臺硬件部分的方案設計與搭建過程。分析了三維輪廓掃描儀的功能需求，設計并編寫了三維掃描微動

2、平臺的控制軟件，軟件中的核心功能是在平移臺運動過程中以光學傳感器逐行采集的數(shù)據(jù)分析得到被測物體表面的三維形貌。在編寫控制軟件的過程中，結合軟、硬件完成了平臺硬件對應的各項功能，其中包括對于光學傳感器、運動平臺和攝像頭的基本控制功能，以及結合各部分硬件功能進行自動掃描的掃描功能。在對控制軟件進行測試的過程中檢驗了光學傳感器和運動平臺的性能，理論分析了運動平臺的定位精度及零點定位精度，用三維掃描得到的圖像和顯微鏡下的圖像作對比，分析二者差異