半導(dǎo)體少子壽命測試儀的研究與改進(jìn).pdf

1、非平衡少數(shù)載流子壽命是半導(dǎo)體的一個十分關(guān)鍵的物理參數(shù),在半導(dǎo)體材料和器件中有著很重要的影響。它能反映半導(dǎo)體材料的純度和晶格結(jié)構(gòu)的完整性,對太陽電池的效率都有著重要的影響,是工藝調(diào)整與材料區(qū)分的主要依據(jù)。
　　論文第一章將會針對光伏行業(yè)的發(fā)展進(jìn)行一些討論,并提出硅片檢測的重要性并引出少子壽命的測試。第二章介紹了少子壽命的定并對影響少子壽命的復(fù)合過程進(jìn)行了深入討論。接著開始介紹幾種重要的少子壽命測試方法,它們的原理與優(yōu)缺點都進(jìn)行了討論

2、和對比。最后引出本文選用的微波光電導(dǎo)衰減法,并對它的優(yōu)勢進(jìn)行了描述。
　　第三章解釋了微波光電導(dǎo)衰減法的原理,詳細(xì)展示了實驗裝置的搭建過程,第四章針對少子壽命測試儀中存在的信號較弱導(dǎo)致的測試結(jié)果重復(fù)性較低的問題,先對矩形波導(dǎo)中微波的傳輸特性進(jìn)行了理論分析。然后對測試儀中關(guān)鍵傳輸耦合模塊魔T進(jìn)行了研究。研究發(fā)現(xiàn)微波在魔T中的傳播導(dǎo)致了大量能量的損失,嚴(yán)重削減了信噪比。環(huán)流器的特性很好地彌補(bǔ)了魔T的不足,既保證了微波正常的傳輸耦合又提