高功率980nm垂直腔面發(fā)射激光器的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、垂直腔面發(fā)射激光器(Vertical Cavity Surface Emitting Lasers,簡稱VCSEL)以其優(yōu)異的性能有望成為信息時(shí)代的新光源.本論文設(shè)計(jì)和制作了980nm垂直腔面發(fā)射激光器,主要內(nèi)容如下:對(duì)垂直腔面發(fā)射激光器的有源區(qū)進(jìn)行了理論計(jì)算,確定了有源區(qū)應(yīng)變量子阱的材料組分,阱寬,阱的個(gè)數(shù)等重要參數(shù),設(shè)計(jì)了垂直腔面發(fā)射激光器所需的DBR.對(duì)器件的外延片結(jié)構(gòu)進(jìn)行了設(shè)計(jì),以便進(jìn)行外延生長.深入研究了垂直腔面發(fā)射激光器的關(guān)

2、鍵制備工藝.研究了濕法腐蝕技術(shù),得出了合適的腐蝕液配比、腐蝕溫度,做到了精確控制腐蝕深度和腐蝕后的表面質(zhì)量;研究了濕法選擇氧化工藝,對(duì)AlAs或Al<,x>Ga<,1-x>As在高溫水汽中氧化的原理及影響氧化的因素進(jìn)行了深入探討,摸索出合適的氧化條件.研究了合金工藝,得到了最佳合金條件.我們采用濕法腐蝕和選擇氧化相結(jié)合的工藝,研制出了980nm高功率垂直腔面發(fā)射激光器,實(shí)現(xiàn)了室溫脈沖和連續(xù)工作,脈沖激射功率最高為1.7W,連續(xù)激射功率最

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