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1、微系統(tǒng)封裝也不斷向更高密度發(fā)展,微互連尺寸愈加細(xì)小,釬料接頭內(nèi)所含晶粒數(shù)量將是有限的。含有限晶粒微小焊點(diǎn)的力學(xué)性能可能有別于大尺寸焊點(diǎn),并且成為影響電子封裝和組裝產(chǎn)品可靠性的關(guān)鍵因素。深入研究微小無(wú)鉛焊點(diǎn)的力學(xué)性質(zhì)和微觀斷裂行為對(duì)于更好地預(yù)測(cè)電子封裝產(chǎn)品的可靠性具有重要意義。
本文針對(duì)不同體積Sn-3.0Ag-0.5Cu釬料/Cu焊盤(pán)微焊點(diǎn),在進(jìn)行綜合的力學(xué)性能測(cè)試和顯微組織分析的基礎(chǔ)上,考察了焊點(diǎn)內(nèi)有限晶粒分布和取向關(guān)系,以
2、及微焊點(diǎn)中金屬間化合物(IntellmetallicCompound,IMC)形態(tài)對(duì)不同體積的微焊點(diǎn)力學(xué)行為的影響,并闡述了微焊點(diǎn)在剪切過(guò)程中的變形行為和裂紋擴(kuò)展行為。
研究結(jié)果表明:微焊點(diǎn)力學(xué)性能的體積效應(yīng)顯著,重熔及老化條件下微焊點(diǎn)的剪切強(qiáng)度隨焊點(diǎn)體積的減小而增大,斷裂模式也存在顯著差異。而基體內(nèi)IMC形態(tài)是影響各體積Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu微焊點(diǎn)的力學(xué)性質(zhì)根本性因素。重熔條件下,隨著微焊點(diǎn)體積的減小,IMC形態(tài)
3、變化顯著,Ag3Sn化合物形態(tài)由樹(shù)枝網(wǎng)狀或羽毛狀轉(zhuǎn)變?yōu)榧?xì)小顆粒狀;老化后均粗化為顆粒狀。各體積微焊點(diǎn)中Sn基體所含的晶粒數(shù)量一般均在1~4個(gè)之間,Sn基體中各晶粒的c軸([001]方向)傾向于與基板平行的方向生長(zhǎng),Sn基體所含有限晶粒的數(shù)量、取向和分布也影響著各體積Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu微焊點(diǎn)的力學(xué)行為。在剪切過(guò)程中塑性變形主要以滑移(或雙滑移)和形成形變帶兩種方式進(jìn)行;同時(shí),塑性變形過(guò)程中各體積微焊點(diǎn)均發(fā)生了明顯的動(dòng)態(tài)回復(fù)
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