激光干涉表面形貌測(cè)量系統(tǒng)及3D-MOTIF評(píng)定研究.pdf

1、工程表面的測(cè)量和評(píng)定是當(dāng)今計(jì)量學(xué)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。本文在總結(jié)當(dāng)今表面形貌測(cè)量及評(píng)定方法的基礎(chǔ)上，系統(tǒng)地論述了作者在工程表面形貌測(cè)量及評(píng)定方法上取得的研究成果。主要研究?jī)?nèi)容與創(chuàng)新如下：在對(duì)傳統(tǒng)的Form Talysurf光學(xué)輪廓儀進(jìn)行重大改進(jìn)的基礎(chǔ)上，研制了適合工程表面形貌測(cè)量需要的大量程、高精度觸針式激光干涉HST光學(xué)輪廓儀。該系統(tǒng)垂直測(cè)量范圍10mm，垂直測(cè)量分辨率0.01μm。二維工作臺(tái)行程40mm×40mm，最小步距0.5μm。其

2、主要改進(jìn)及創(chuàng)新如下：（1）將傳統(tǒng)的Form Talysurf光學(xué)輪廓儀的動(dòng)觸針式掃描改為動(dòng)工作臺(tái)式掃描，解決了原系統(tǒng)在使用過程中的穩(wěn)定性不佳的問題；（2）采用絕對(duì)零位與查找表相結(jié)合的方法消除了原系統(tǒng)中存在的非線性理論誤差，使本文研制的HST光學(xué)輪廓儀具備大量程，高精度的特點(diǎn)；（3）采用共基面二維工作臺(tái)，解決了原系統(tǒng)不具備二維測(cè)量基準(zhǔn)面的問題；（4）研制了基于CCD的分級(jí)干涉細(xì)分裝置，提出了通過傅立葉功率譜計(jì)算CCD接收干涉條紋初