薄膜厚度的橢圓偏振光法測量.pdf

1、薄膜厚度的橢圓偏振光法測量FilmThicknessMeasurementBasedonEllipsometry學(xué)科專業(yè)：光學(xué)工程研究生：王益朋指導(dǎo)教師：張德龍教授天津大學(xué)精儀學(xué)院二零一零年六月一專一苓牛六月。，_ro：一，心。一。曩歲—■一CoC囂∥‘獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝之處外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得苤鲞盤堂

2、或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示了謝意。學(xué)位論文作者簽名：五參月日簽字日期：j。，o年6月，尹日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解苤鲞盤堂有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定。特授權(quán)丕鲞盤堂可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，并采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編以供查閱和借閱。同意學(xué)校向國家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤。(