并行快速橢圓偏振分析方法的研究.pdf

1、橢圓偏振態(tài)的分析和研究以其在薄膜材料結(jié)構(gòu)參數(shù)和光學常數(shù)絕對值測量中所顯示的高準確度，高靈敏度、非破壞性、非接觸式等優(yōu)點而在科學研究和工業(yè)領域得到了廣泛的應用。
　　本論文在探索和研究如何進一步提高橢偏參數(shù)的測量速度和精準度兩方面完成了以下工作:
　　1.研究了一種并行橢圓偏振態(tài)的測量方法，將12個微型檢偏晶體集成為一個組合式檢偏器，采用CCD二維面陣探測器對光強進行多通道探測，徹底消除機械轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，顯著縮短了橢偏參數(shù)的測量時

2、間。對體材料硅片進行了測量，測得的橢偏參數(shù)與另外兩種傳統(tǒng)的光度式橢偏測量方法測得的橢偏參數(shù)進行了比較分析，獲得了一致的結(jié)果，因而驗證了這種新型橢偏測量方法的可行性，使其有望在實時橢偏測量領域獲得應用。
　　2.采用理論模擬與實驗結(jié)合的方法，研究了同步旋轉(zhuǎn)起偏器和檢偏器型的光度式橢偏方法在測量橢偏參數(shù)和光學常數(shù)時，因采用離散傅立葉變換所引入的系統(tǒng)誤差對兩組求解橢偏參數(shù)的方程產(chǎn)生的隨機誤差影響。揭示了系統(tǒng)誤差與隨機誤差在兩組方程中的傳