單基多電極式石英加速度計的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、加速度計是慣性導航、制導和控制檢測設(shè)備的重要測量器件，廣泛用于航空、航海及武器的制導和控制系統(tǒng)。其中，數(shù)字式壓電石英加速度計以其精度高、響應快、數(shù)字輸出、抗干擾能力強，以及無活動部件和反饋回路等特點而受到人們的關(guān)注。對于石英加速度計力．頻特性的改善和溫度等因素影響的抑制成為新的研究方向。 本文根據(jù)晶體振動的能限理論設(shè)計制作了單基三電極石英晶體諧振器。研究了這種結(jié)構(gòu)的石英晶體諧振器的晶片表面處理(拋光)及邊沿形狀(倒邊)對其力-頻

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