溶膠—凝膠法制備SnO-,2-氣敏薄膜及其性能研究.pdf

1、本文綜述了SnO2氣敏薄膜國內(nèi)外研究現(xiàn)況及發(fā)展趨勢，綜合考慮各種制備薄膜的方法，本實(shí)驗(yàn)采用工藝簡單，成本低廉的薄膜制備方法——溶膠－凝膠法。 本文首先制備了純SnO2氣敏薄膜，研究了薄膜厚度對(duì)靈敏度的影響及薄膜電阻與氣體濃度的關(guān)系，采用針對(duì)SnO2薄膜提出的氣體擴(kuò)散模型和受到廣泛認(rèn)同的晶界勢壘模型對(duì)實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象進(jìn)行了分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，氣敏薄膜的Sb元素?fù)诫s會(huì)使薄膜的靈敏度降低，本文通過類比分析，將晶界勢壘模型和異質(zhì)結(jié)模型結(jié)合，解釋

2、推導(dǎo)了施主摻雜對(duì)氣敏性能的影響。 本文實(shí)驗(yàn)制備了SnO2基H2S氣敏薄膜，為了提高其氣敏性能，對(duì)溶膠-凝膠法制備SnO2薄膜的燒結(jié)溫度和CuCl2的摻雜量進(jìn)行了探索。文中通過X射線衍射儀、差熱熱失重分析儀、場發(fā)射掃描電鏡和氣體響應(yīng)測試，對(duì)SnO2納米薄膜性能進(jìn)行表征，確定了薄膜的最佳燒結(jié)溫度為550℃，CuCl2的最佳摻雜量為3mol％。測試結(jié)果表明，制得的SnO2薄膜在室溫下具有很好的響應(yīng)特性，對(duì)于68.5ppm的H2S，其靈