射頻CMOS工藝中可變電容的特性研究及建模.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著無線通訊技術(shù)的飛速發(fā)展和半導(dǎo)體微縮技術(shù)進(jìn)入納米尺寸,高性能的CMOS射頻集成電路已成為發(fā)展無線通訊的重要目標(biāo)。射頻集成電路作為無線通訊系統(tǒng)的收發(fā)端,對射頻通訊元件的性能提出了要求。可變電容是射頻電路中的重要元件之一,常用于可調(diào)濾波器和LC壓控振蕩器(VCO)等射頻模塊電路。本文圍繞CMOS工藝中的可變電容作了一系列的研究。首先,對可變電容的原理特性進(jìn)行簡單的闡述。其次,利用中芯國際(SMIC)先進(jìn)的130nm和65nm工藝設(shè)計并制造

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