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文檔簡介
1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文納米CMOS工藝中高性能BJT研究與建模姓名:虞倩旻申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):電子與通信工程指導(dǎo)教師:唐長文20080925AbstractWiththescalingofCMOStechnologyonsilicon,processfeaturesizebecomessmallerandsmalleruptOnow32nmtechnologyon12inchwaferhasbecomethenexttechnolog
2、icaltargetCMOStechnologyonSiliconiswidelyusedindigitalcircuit,mixsignalcircuit,andRFcircuitsbecauseofitsobviousadvantageslikehighperformance,highintegration,lowpowerandlowCostHowever,despiteoftheseadvantages,itisnotwitho
3、utit’Slimitations,thelowfrequency1/fnoiseisoneofthem,whichcouldreducetheperformanceofRFcircuitlikemixerBipolartransistorscanprovidespeed,currentdrivingcapabilityandlow—noiseperformance,Bycombiningbothtechnologiesonthesam
4、echip,theperformanceofthecircuitCanbegreatlyimprovedMostexistingBiCMOSprocessescombinehighperformancebipolartransistorswithMOSFETsthisresultsinarathercomplexandexpensiveprocessduetothetechnologicalincompatibilityofthetwo
5、typesoftransistorsAmoreeconomicalsolutionwouldbetousetheparasiticbipolartransistors,whichareinherentlyavailableinCMOSprocessInthispaperadvancedlateralandverticalbipolartransistorshavebeendesignedandfabricatedbySMIC130nma
6、nd90nmRFCMOSprocessTheperformanceofthosenovelbipolartransistorshavebeenimprovedthroughtheoptimizationofdevicestructureandfabricationprocess,thebasewidthofthedesignedlateralbipolartransistorcanbereducedtotheleveloflOOnmes
7、peciallyin90nmRFCMOSprocessThoseadvancedbipolartransistorscanbeusedincircuitapplicationstoimprovetheperformanceandlowerthecost,andtheycanalsobeveryhelpfulinthedesignofRFESDprotectioncircuitThemainworkincludedinthispaper:
8、(1)Designofnovellateralandverticalbipolartransistor,novellateralandverticalCMOSbipolartransistorhavebeendesignedandfabricatedbytheSMIC130nmand90nmRFCMOSprocess(2)Testandcharacterizationofthedesignednovelbipolartransistor
9、s,IVperformanceofthebipolartransistorsondifferentconditionshasbeencharacterizedTheeffectsoftransistorstructure,basedopingconcentration,basewidth(featuresize),theshapeandareaofemitteronthecommonemittercurrentgainhavebeens
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