SnO-,2-納米粉體及薄膜的制備工藝與結(jié)構(gòu)形貌表征.pdf

1、SnO<,2>作為一種廣譜氣敏材料，可以用來檢測各種有毒、有害及各種可燃性氣體，具有非常廣闊的應用前景。采用溶膠—凝膠法制備納米顆粒，具有工藝穩(wěn)定、重復性好、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點。本文采用溶膠—凝膠法制備納米SnO<,2>粉體及SnO<,2>薄膜。 本文通過調(diào)整反應溶液濃度、PH值以及燒結(jié)溫度等工藝參數(shù)，對SnO<,2>粉體制備工藝和薄膜制備工藝進行研究。并采用X射線衍射分析、TEM、SEM等，分別對納米SnO<,2>粉體的形貌、粒

2、徑分布、晶相組成以及SnO<,2>薄膜的表面形貌進行表征。 TG-DSC分析結(jié)果表明：SnO<,2>干凝膠在溫度達到330℃時，SnO<,2>由非晶態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)閱我坏乃姆骄到鸺t石結(jié)構(gòu)。 采用溶膠—凝膠法，通過調(diào)整反應溶液濃度、PH值以及燒結(jié)溫度等工藝參數(shù)，可以制備出具有四方金紅石結(jié)構(gòu)的平均晶粒尺寸10-50nm的SnO<,2>納米粉體。 XRD與TEM分析結(jié)果表明，其他工藝條件不變時，SnO<,2>粉體的晶粒尺寸隨

3、著SnCl<,4>溶液濃度的增加而減小。而反應溶液的PH值的變化，對溶膠的形成和溶膠一凝膠轉(zhuǎn)變產(chǎn)生影響，對SnO<,2>粉體晶粒尺寸影響不大。 SnO<,2>粉體晶粒尺寸隨著燒結(jié)溫度的升高而顯著增大。其他工藝參數(shù)不變，燒結(jié)溫度從400℃增加到800℃，SnO<,2>粉體平均晶粒尺寸從10 nm增加到50 nm，且燒結(jié)溫度的提高，會導致納米顆粒從軟團聚向硬團聚轉(zhuǎn)變。 采用提拉法制備出具有納米晶結(jié)構(gòu)的SnO<,2>薄膜。SE